電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動(dòng)、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測量。常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。圖爾克電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)

圖爾克電容式傳感器優(yōu)點(diǎn)：

1.溫度穩定性好

電容式傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，這有利于選擇溫度系數低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。

2.結構簡(jiǎn)單

電容式傳感器結構簡(jiǎn)單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實(shí)現某些特殊的測量；能工作在高溫，強輻射及強磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過(guò)載等；能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作進(jìn)行測量。

3.動(dòng)態(tài)響應好

電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動(dòng)態(tài)測量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數。

4.可以非接觸測量且靈敏度高

可非接觸測量回轉軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

電容式傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能感應0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動(dòng)結構并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。 

圖爾克電容式傳感器缺點(diǎn)：

1.輸出阻抗高，負載能力差。

無(wú)論何種類(lèi)型的電容式傳感器，受電極板幾何尺寸的限制，其電容量都很小，一般為幾十到幾百皮法(pF)，因此使電容式傳感器的輸出阻抗很高，可達  ～  Ω。由于輸出阻抗很高，因而輸出功率小，負載能力差，易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩定現象，嚴重時(shí)甚至無(wú)法工作。

2.寄生電容影響大。

電容式傳感器的初始電容量很小，而連接傳感器和電子線(xiàn)路的引線(xiàn)電纜電容、電子線(xiàn)路的雜散電容以及電容極板與周?chē)鷮w構成的電容等寄生電容卻較大。寄生電容的存在不但降低了測量靈敏度，而且引起非線(xiàn)性輸出。由于寄生電容是隨機變化的．因而使傳感器處于不穩定的工作狀態(tài)．影響測量準確度。