heidenhain海德漢光電掃描原理 |
點(diǎn)擊次數:972 更新時(shí)間:2019-08-08 |
大多數海德漢公司的光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。光電掃描測量基準是非接觸式掃描,因此無(wú)磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細的線(xiàn)條,通常不超過(guò)幾微米寬,而且能生成信號周期很小的輸出 成像掃描原理 當平行光穿過(guò)一個(gè)光柵時(shí),在一定距離處形成明/暗區。掃描光柵就位于該位置。當兩個(gè)光柵相對運動(dòng)時(shí),穿過(guò)光柵的光得到調制。如果狹縫對齊,則光線(xiàn)穿過(guò)。如果一個(gè)光柵的刻線(xiàn)與另一個(gè)光柵的狹縫對 柵距越小,掃描掩膜和光柵尺帶間的間距越小,公差越嚴。成像掃描的10 µm或更大柵距的編碼器允許的編碼器安裝公差相對 干涉掃描原理
干涉掃描原理是利用精細光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準:高度0.2 µm的反光線(xiàn)刻在平反光面中。光柵尺帶的前方是掃描掩膜,其柵距與光柵尺帶的柵距相同,是透射相位光柵。
光波照射到掃描掩膜時(shí),光波被衍射為三束光強近似的光:-1、0和+1。光柵尺帶衍射的光波中,反射的衍射光中光強QIANG的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,又一次被衍射和干涉。它也形成三束光,并以不同的角度離開(kāi)掃描掩膜。光電池將這些交變的光強信號轉化成電信號。
掃描掩膜與光柵尺帶的相對運動(dòng)使級的衍射光產(chǎn)生相位移:當光柵移過(guò)一個(gè)柵距時(shí),前一級的+1衍射光在正方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(cháng),-1衍射光在負方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(cháng)。由于這兩個(gè)光波在離開(kāi)掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉,光波將彼此相對移動(dòng)兩個(gè)光波波長(cháng)。也就是說(shuō),相對移動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號周期。
例如,干涉光柵尺的柵距一般為8 µm、•4•µm甚至更小。其掃描信號基本沒(méi)有高次諧波,能進(jìn)行高倍頻細分。因此,這些光柵尺特別適用于小測量步距和高精度應用。 上一篇:afriso煙氣分析儀有哪些類(lèi)型 下一篇:為您推薦三款robertshaw電涌保護器 |